圧力センサーエラー？
まず、オフセット誤差: 圧力センサーの垂直オフセットは圧力範囲全体で一定であるため、コンバーターの拡散の変化とレーザー調整補正によってオフセット誤差が生じます。
次に、感度エラーがあります。発生するエラーの大きさは、圧力に比例します。 デバイスの感度が標準値よりも高い場合、感度エラーは圧力の増加関数になります。 感度が標準値より低い場合、感度エラーは圧力の減少関数になります。 このエラーの理由は、拡散プロセスの変化によるものです。
3 つ目は線形誤差です。これは、圧力センサーの初期誤差に小さな影響を与える要因です。 この誤差の理由は、シリコン ウエハーの物理的な非線形性にありますが、アンプ付きセンサーの場合は、アンプの非線形性も含める必要があります。 線形誤差曲線は、計量センサーの凹型曲線または凸型曲線にすることができます。
最後に、ヒステリシス誤差があります。ほとんどの場合、圧力センサーのヒステリシス誤差は完全に無視できます。これは、シリコン ウェーハの機械的剛性が高いためです。 一般に、ヒステリシス誤差は、圧力が大幅に変化する状況でのみ考慮する必要があります。
